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光學(xué)薄膜之減反射膜的原理和制備方法
作者:減反射膜 點(diǎn)擊數(shù): 發(fā)時間:2024-01-03

減反射膜

減反射膜又稱增透膜,其主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面反射鏡等表面反射,從而增加這些元件的透過率,減少或消除雜散光系統(tǒng)。

減反射膜原理

反光膜是基于光的波動和干涉現(xiàn)象。兩個相同振幅、相同波長的光波疊加,光波振幅增強(qiáng);如果兩個光波有相同的原點(diǎn),波的路徑不同,如果疊加,就會互相抵消。

反射膜是利用這一原理,在透鏡表面涂上反射膜,使膜前后表面發(fā)生干擾,從而抵消反射光,達(dá)到防反射的效果。

減反射膜.jpg

減反射膜應(yīng)用

減反射膜在實踐中應(yīng)用廣泛,最常見的是透鏡和太陽能電池——通過制備減反射膜來提高光伏組件的功率瓦數(shù)。

早期的光伏電池可以采用不同二氧化硅和二氧化鈦膜作為減反射層。

氮化硅是目前用于晶體硅光伏電池的減反射膜材料。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)用于電離氨和硅烷,這些氨和硅烷沉積在高折射率的硅片表面,可以發(fā)揮更好的抗反射效果。

減反射膜制備方法

溶膠-凝膠法是以化學(xué)活性成分高的化合物為前驅(qū)體,將這些原料在液相中均勻混合,進(jìn)行水解和縮合化學(xué)反應(yīng),在溶液中形成穩(wěn)定的透明溶膠體系,然后通過提拉、鍍膜等工藝在基底上獲得減反射膜。

化學(xué)化學(xué)氣相沉積(CVD)是在襯底上沉積薄膜,襯底加入含有元素的氣體,這些元素通過化學(xué)反應(yīng)形成薄膜,使用諸如加熱、等離子體和紫外光等能源,可以制備出正辛、硫化鋅、二氧化硅和碳化硅減反射薄膜。

磁控濺射法是在高真空中充入適量的氬氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極鍍膜室壁之間施加DC電壓,使鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控異常輝光發(fā)電,使氬氣電離。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,中性的靶材原子(或分子)沉積在基底上形成薄膜。氧化鉭和氮化硅膜最常用磁控濺射法制備。


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